一种晶硅太阳能电池钝化材料Al₂O₃浓度梯度掺杂ZnO薄膜及制备方法，通过原子沉积在硅片表面进行Al₂O₃沉积以形成厚度为1nm～10nm的Al₂O₃层；然后继续在Al₂O₃层上进行n₁次的ZnO沉积，然后进行1次Al₂O₃沉积，完成一次Al₂O₃掺杂ZnO沉积；按照上述Al₂O₃掺杂ZnO沉积的方式重复沉积，其中当次ZnO沉积的次数比前一次ZnO沉积多沉积一次，以形成厚度为30nm~100nmAl₂O₃浓度梯度掺杂ZnO层；沉积结束后，取出硅片，进行退火，得到晶硅太阳能电池钝化薄膜。优点是：薄膜设计合理，制备过程容易操作，对晶硅太阳能电池具有优良的钝化效果，电池光电转化效率高。