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> 技术详情
太阳能电池背场激光PN隔离工艺
编号:S000030015
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-29
浏览:
2317
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 山东
技术领域:
能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种太阳能电池背场激光PN隔离工艺,包括步骤:前清洗制绒、扩散、PN隔离、后清洗、等离子体增强化学气相沉积法沉积氮化硅、丝网印刷烧结、测试分选;所述PN隔离采用激光刻蚀,具体方法是:在太阳能电池的背面,利用光纤激光器以100~120mm/s的刻线速率围绕硅片的背面表面进行边缘刻槽,所述刻槽离硅片的边缘距离为0.5mm,刻槽深度为10~15μm,从而实现PN隔离。本发明使用激光隔离代替传统的湿法刻蚀工艺,并且对传统激光刻蚀的工艺进行了改善,完全可以满足太阳能电池生产过程中去除边缘PN结的工艺需求。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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