本发明提供一种在校正位置上设置目标治具以防止灰尘附着吸附吸嘴的前端的半导体制造装置。在目标治具(10)中，长方形的治具主体(11)的上表面上突出而形成有“十”字状的目标标记(12)，目标标记(12)的突起部的宽度突出成小于灰尘的大小的50～100μm，从而在校正动作中，使其面对从上方下降过来的吸嘴面接触。