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> 技术详情
承载装置及利用该装置进行晶片转移的方法
编号:S000021620
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-29
浏览:
2264
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
合作研发
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明一般涉及半导体集成电路制造领域,更确切的说,本发明涉及一种承载装置及利用该装置进行晶片转移的方法。本发明一种承载装置及利用该装置进行晶片转移的方法,通过在承载平台上设置多组传感器,以针对不同规格和尺寸的晶片使用相应组别的传感器进行识别检测工艺,还能准确的检测识别出具有特殊形貌的晶片,以有效避免承载平台中叠片现象的出现,降低因识别不到晶片而发生碎片的危险,进而增大产品的良率,降低工艺成本,且对现有的设备改动小,其兼容性比较强。
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