现有的半导体设备精密定位运动平台的定向技术仅参照运动体中心的定位进行定向，不能满足较高的水平度要求。本发明提出了一种定向半导体设备精密定位运动平台的装置及方法，平台(10)上存在定义了该平台的平面的第一、第二和第三参考处(A、B、C)，该装置包括：三个驱动单元，用于驱动相应参考处并驱动所述运动平台移动；三个位置传感器，分别用于传感与参考处的位置相关的信号值；处理器，用于获得使所述平台平面与该预定定向一致的、各信号值之间的相互关系；调节器，用于在第一驱动单元驱动第一参考处到预定位置后，根据所述相互关系，控制该第二和第三驱动单元驱动相应参考处，以将所述平台定向为该预定定向。