基于固支梁和间接式功率传感器的在线式微波频率检测器及其检测方法，检测器制备在GaAs衬底上，包括共面波导CPW传输线、两个结构完全相同的MEMS固支梁结构、功合器以及三个结构完全相同的MEMS间接式微波功率传感器。其中，CPW传输线包括信号线和地线；MEMS固支梁结构包括MEMS固支梁和梁的锚区，悬于信号线上介质层的上方；功合器包括不对称共面带线ACPS信号线、地线和隔离电阻；MEMS间接式微波功率传感器包括终端电阻、金属热偶臂、半导体热偶臂、金属连接线和直流输出块。本发明检测器结构简单新颖，电路尺寸较小，可实现微波信号频率的在线检测，并易于同GaAs单片微波集成电路兼容。