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一种基于ELO技术的倒装结构发光二极管及其制备方法
编号:S000021297 刷新日期: 有效日期至:2020-11-08 浏览:2295 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种基于ELO技术的倒装结构发光二极管及其制备方法,属于半导体光电子技术领域。包括有从下往上依次纵向层叠生长的下电极、转移衬底、后置层、电流扩展层、第二限制层、有源区、第一限制层、窗口层,上电极,具体结构如附图2所示。采用了ELO技术,通过一次性湿法腐蚀的办法,将外延生长时用的衬底一次性完整的剥离。本发明制作工艺简单,脱落的衬底材料可以重复使用,大大减少了工艺过程中外延材料的浪费,从而节约了成本,给工业生产提供了便利,起到了环境保护的作用。该倒装结构发光二极管,其光效高,亮度高,工艺重复性好;器件尺寸随亮度需求而灵活变化,相同数量的芯片比较,其产值高,成本低,非常适合于大批量生产。
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