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一种有机场效应晶体管的制作方法
编号:S000020890 刷新日期: 有效日期至:2020-10-28 浏览:1988 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种有机场效应晶体管的制作方法。该方法包括如下步骤:(1)清洗表面设有栅电极的基底;(2)在所述栅电极上沉积聚合物绝缘层;所述聚合物绝缘层为聚苯乙烯绝缘层或聚甲基丙烯酸甲酯绝缘层;(3)在所述聚合物绝缘层上悬涂光刻胶,然后置于光刻掩膜板下进行曝光和显影,得到图案化的源漏电极;然后再置于紫外光下进行再次曝光;再继续蒸镀金膜,然后再显影液处理后得到源漏电极;(4)在得到的源漏电极上蒸镀有机半导体层即得到有机场效应晶体管。本发明具有以下有益效果:1、本方法可以在处理温度低(50℃)的绝缘层上进行光刻。2、采用二次曝光的方法,巧妙的避开了丙酮对于绝缘层的影响。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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