本发明涉及用以在半导体生产中涂胶单元光刻胶管路的保温装置，具体地说是一种光刻胶管路套管保温装置。在光刻胶管的外面设有双层套管结构，双层套管结构的内层为进水管路，外层为出水管路，形成自身闭合的循环恒温管路，所述光刻胶管的一端与光刻胶喷嘴连接，另一端与外部供应管路连接。本发明保温效果好，又能节省空间，提高生产的质量和效率。