一种氮化物半导体发光元件的制造方法，该方法可以可靠地形成从发光元件表面引出的机械稳定的导线电极。预先在器件结构层上的第一电极层的周边形成结构保护牺牲层，在将器件结构层分离为发光元件的各个部分之后，粘接到支撑衬底上。随后，形成到达结构保护牺牲层的正锥形槽，并且在剥离步骤中剥离形成在该正锥形槽外面的倒锥形部。从而，在发光元件的正锥形侧壁上形成了绝缘层，并且在该绝缘层上形成了布线电极层，该布线电极层电连接到发光元件的主面上的第二电极层。