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一种在管式基底上制备半导体薄膜的生产设备
编号:S000018800 刷新日期: 有效日期至:2020-10-30 浏览:2397 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种在管式基底上制备半导体薄膜的生产设备。本发明采用单槽多管方式,加热液体流入管式基底的内壁,从内部对管式基底加热,再通过管式基底加热反应溶液,反应溶液可以以常温状态存在,而不影响半导体薄膜生长的进行,能够使反应先在管式基底的外壁优先进行,从而节约溶液;采用独立恒温的高温加热箱提供高温的加热液体作为热源,使得半导体薄膜沉积的温度稳定,实现半导体薄膜沉积的高重复性;进一步采用将溢流结构与管式基底的内部加热有效的结合;采用反应溶液溢流循环系统实现溶液的实时更新,减少浓度降低对后期反应过程的影响,降低废液排放量,减少溶液注入量。本发明适用在各种管式基底上沉积半导体薄膜的工业化批量生产。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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