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用于检测基片上的图案的方法和装置
编号:S000068247 刷新日期: 有效日期至:2021-01-02 浏览:2288 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:信息通信 - 电子信息及通讯
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种用于检测在行进的基片(2)(亦即在沉积在薄片或卷材材料上的基片)上的图案的装置(1),所述基片是沿着一行进方向(20)行进的金属化箔片。所述装置在一壳体(3)内包括:从一第一光源(4)发出的一第一入射光束(l1),从一第二光源(5)发出的一第二入射光束(l2),一光学测量系统(10),分别传送由基片(2)反射的反射光束(R1,R2)的一光敏传感器(13),以及连接至一通讯口(16)的一电子装置(14)。光学测量系统(10)是焦阑的,并且第一入射光束(l1)横穿一焦阑的照明系统(15),第二入射光束(l2)横穿一倾斜的照明系统(25)。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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