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> 技术详情
用于检测基片上的图案的方法和装置
编号:S000068247
刷新日期:
有效日期至:
2021-01-02
浏览:
2455
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
信息通信 - 电子信息及通讯
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
一种用于检测在行进的基片(2)(亦即在沉积在薄片或卷材材料上的基片)上的图案的装置(1),所述基片是沿着一行进方向(20)行进的金属化箔片。所述装置在一壳体(3)内包括:从一第一光源(4)发出的一第一入射光束(l
1
),从一第二光源(5)发出的一第二入射光束(l
2
),一光学测量系统(10),分别传送由基片(2)反射的反射光束(R1,R2)的一光敏传感器(13),以及连接至一通讯口(16)的一电子装置(14)。光学测量系统(10)是焦阑的,并且第一入射光束(l
1
)横穿一焦阑的照明系统(15),第二入射光束(l
2
)横穿一倾斜的照明系统(25)。
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认证方式:
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