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> 技术详情
一种介电滤波薄膜材料及其制备方法
编号:S000066251
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-13
浏览:
2293
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 江苏
技术领域:
信息通信 - 电子信息及通讯
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种介电滤波薄膜材料及其制备方法,该材料是在K9玻璃或硅片衬底上用磁控溅射技术,在高纯氩气氛中逐次生长出具有七层结构的薄膜材料,其中第一、三、五、七层为SiO
2
膜或Si膜,第二、四、六层为Si膜或SiO
2
膜,用该技术制备时膜厚控制精确,而且材料中间不存在空气间隙层,该材料结构稳定,而且容易控制,并具有在1210纳米至2230纳米的光波波长范围内得到光子禁带,在光通讯波长1.3微米和1.55微米处同时得到光的共振模式的功能,得到的共振峰的峰位精确地控制在光通讯波长1.29微米和1.55微米,与光通讯波长1.30微米和1.55微米的偏差分别为0.77%和0.00%。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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