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一种介电滤波薄膜材料及其制备方法
编号:S000066251 刷新日期: 有效日期至:2020-12-13 浏览:2293 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:信息通信 - 电子信息及通讯
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种介电滤波薄膜材料及其制备方法,该材料是在K9玻璃或硅片衬底上用磁控溅射技术,在高纯氩气氛中逐次生长出具有七层结构的薄膜材料,其中第一、三、五、七层为SiO2膜或Si膜,第二、四、六层为Si膜或SiO2膜,用该技术制备时膜厚控制精确,而且材料中间不存在空气间隙层,该材料结构稳定,而且容易控制,并具有在1210纳米至2230纳米的光波波长范围内得到光子禁带,在光通讯波长1.3微米和1.55微米处同时得到光的共振模式的功能,得到的共振峰的峰位精确地控制在光通讯波长1.29微米和1.55微米,与光通讯波长1.30微米和1.55微米的偏差分别为0.77%和0.00%。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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