本发明涉及一种半导体设备气体混合控制器，采用以下技术方案：包括输入部分、控制处理部分、输出部分、RS485通讯端口和电源。输入部分包括模拟信号采集模块、氢氧比例输入模块和SIH4压力输入模块，输出部分包括模拟通道输出模块、控制通道输出模块、氢氧比例保护输出模块和SIH4超压输出模块，一个RS485通讯端与数字质量流量计相连，另一个RS485通讯端口与上位机相连。电源采用隔离DC-DC模块，电源经过隔离DC-DC模块转换为5个回路：气体质量流量计、模拟通道芯片、单片机系统、主通讯口和从通讯口所需电源。本发明控制器可根据上位机下达各气体的控制规则和程序来监控不同的质量流量计的气体流量，同时进行互锁和保护，可适用于气体模拟质量流量计或数字质量流量计，可与8个质量流量计相连，特别适用于半导体具有气体控制的设备，智能化高、功能强、成本低、精度高、安全可靠。