本发明公开了一种难降解工业废水的处理工艺及装置，其中处理工艺包括如下步骤：1)水池中的工业废水首先通过臭氧对工业废水进行预氧化；2)然后通过酸溶液将废水的pH值调节至3～4；3)再通过催化剂A和臭氧对废水进行催化氧化反应；4)反应后进行混凝沉淀；5)然后通过催化剂B和臭氧对混凝沉淀后的上清液E进行催化氧化反应，进一步降低COD；6)然后再进行混凝沉淀，上清液F为去除大部分COD的清水。本发明的处理工艺及装置对制药、化工、印染、焦化、造纸等难降解工业废水COD的去除率可高达95%，满足生产用水和环保达标排放要求，且操作简单，使用成本低。