本发明涉及太阳能硅片预清洗工序中的一种在线废水回用方法领域。本发明将预清洗分为一洗和二洗两个阶段，其中一洗阶段通过回收水超声波清洗、回收水冲洗、清洗水超声波清洗、清洗水冲洗、1#排水沉淀过滤回收等步骤将水质较低的1#排水采用沉淀废水回用清洗工艺回收循环后用于硅片的预清洗；二洗通过清洗水超声波清洗、清洗水冲洗、2#排水过滤回收、定期分流沉淀过滤回收等步骤将水质较好的主排水通过在线过滤废水回用清洗工艺回收循环后用于硅片的预清洗，节约用水且降低了环境污染及环境处理费用，设备投资少，解决了制绒工序后硅片表面容易产生白斑不良的技术难题，取得了较高了社会、环境及经济效益。