本发明提供一种柔性蠕动泵，包括泵单元，固定单元与连接单元，其中泵单元为采用驱动薄膜制作的囊状结构，并含有至少一个开口用于流体的流入流出的通道。智能软材料的薄膜在外加激励下由于本征应变产生舒展与收缩产生蠕动泵的驱动力，吸入与排出液体。本发明借助驱动薄膜材料采用特定的结构实现了蠕动泵结构的进一步简化，提高了蠕动泵的稳定性，可靠性，高效性，经济性并降低工作噪音。本发明未来可以广泛应用于化工、采矿冶金，造纸、油漆涂料、食品、陶瓷、石油、水处理、制药、医疗器械领域。特别是在人造器官方面将会发挥重要的作用。