本发明公开了一种制备高纯度多晶硅的方法，包括如下步骤：提供过滤件，在过滤件上设置熔融状态的硅料，使所述熔融状态的硅料中的硅液与难熔杂质分离，得到纯化后的硅液；将所述纯化后的硅液定向凝固结晶形成硅锭，得到高纯度的多晶硅。本发明还公开了一种制备高纯度多晶硅的装置。本发明采用过滤除杂与定向凝固除杂相结合的方式，有效除去了硅料中的杂质，生产了高纯度的多晶硅，适合用于制备太阳能硅电池。