本发明公开了一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法，将制得的浆料通过成型、冷等静压的方法得到陶瓷胚体，再通过调节烧结过程中的升温程序得到高质量的靶材，然后通过磁控溅射方法得到含钛共掺杂的氧化锌基导电薄膜，所得到的导电薄膜具有高的折射率，在硅基薄膜太阳能电池中应用可以提升与硅薄膜折射率的匹配度，减小光在界面处的反射，进而提高电池效率。该方法制备含钛共掺杂氧化锌基透明导电薄膜所用的原料便宜，操作简单，适于规模生产，具有良好的太阳电池及光电应用前景。