本发明属于太阳能电池纳米结构技术领域，特别涉及一种利用银镜反应制备硅表面形貌可控纳米银粒子的方法。本发明采用不同温度下的、无添加剂的银镜反应在（100）硅片表面制备了尺寸、形状、均匀性可控的纳米银粒子，采用不同形貌的纳米银粒子催化刻蚀，获得了不同形貌的硅表面纳米结构。本发明在保持催化刻蚀特征的基础上，通过银镜反应简化了纳米银粒子镀覆的工艺过程，制备出长米状、短棒状、多面体状银粒子以及絮状银，为硅表面催化银粒子的形貌可控制备工艺提供了新的方法。纳米银粒子可直接应用于催化刻蚀工艺，制备出圆孔、密集小孔、凹凸孔和方孔硅表面纳米结构，实现了太阳能电池中纳米陷光结构的可控制备。