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> 技术详情
一种双吸收层TiON耐候性光热涂层及其制备方法
编号:S000032601
刷新日期:
有效日期至:
2020-11-13
浏览:
2401
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 山东
技术领域:
能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:
合作研发
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明涉及一种双吸收层TiON耐候性光热涂层及其制备方法,以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材,依次为Ti膜红外反射层、TiON膜第一吸收亚层、TiON膜第二吸收亚层、Si
x
N
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膜减反层,先通氩气以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材,以Ti为靶材直流溅射,再注入流量为5-9sccm的氮气和流量为1-4sccm的氧气溅射,然后调整氮气流量为9-15sccm、氧气流量3-5sccm溅射,最后使基材正对Si靶材调节氮气流量至15-25sccm、氧气流量至0sccm溅射。本发明所制备的太阳能选择性光热吸收涂层耐候性好,可用于制备平板太阳能集热板芯,应用前景良好。
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机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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