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一种双吸收层TiON耐候性光热涂层及其制备方法
编号:S000032601 刷新日期: 有效日期至:2020-11-13 浏览:2231 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 山东 技术领域:能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及一种双吸收层TiON耐候性光热涂层及其制备方法,以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材,依次为Ti膜红外反射层、TiON膜第一吸收亚层、TiON膜第二吸收亚层、SixNy膜减反层,先通氩气以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材,以Ti为靶材直流溅射,再注入流量为5-9sccm的氮气和流量为1-4sccm的氧气溅射,然后调整氮气流量为9-15sccm、氧气流量3-5sccm溅射,最后使基材正对Si靶材调节氮气流量至15-25sccm、氧气流量至0sccm溅射。本发明所制备的太阳能选择性光热吸收涂层耐候性好,可用于制备平板太阳能集热板芯,应用前景良好。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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