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> 技术详情
硅锭及其制造装置和方法、硅晶圆、太阳能电池和硅零件
编号:S000031474
刷新日期:
有效日期至:
2020-11-20
浏览:
3012
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明提供一种硅锭制造装置、硅锭的制造方法及硅锭、硅晶圆、太阳能电池和硅零件,所述硅锭制造装置能够制造杂质量较少且杂质量的偏差较小的硅锭,其具有载置于坩埚上的盖,在盖的平面中心附近连接有惰性气体供给构件,盖具有:载置部,载置于坩埚的侧壁上端面;檐部,从坩埚的侧壁外边向外侧突出;及开口部,沿厚度方向贯穿,檐部配置于坩埚的侧壁上端外周边的10%以上区域的外周侧且从侧壁上端外边的突出长度为50mm以上,开口部形成在距坩埚的侧壁上端内边100mm以内的区域,由开口部形成的坩埚的上端内侧区域的露出面积的合计为坩埚的整个上端内侧区域的面积的1.5%以上且10%以下。
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机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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