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用于生产太阳能电池的装置和方法
编号:S000030827 刷新日期: 有效日期至:2020-12-02 浏览:2539 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种用于形成太阳能电池的方法和装置。该装置包括限定真空室的外壳;以及配置成在多个表面上保持多个衬底的可旋转衬底装置,其中多个表面中的每一个都设置成面向真空室的内表面。第一溅射源配置成在多个衬底中的每一个的至少一部分表面上方沉积多个第一类型的吸收层原子。蒸发源设置在真空室的第一副室中并且配置成在多个衬底中的每一个的至少一部分表面上方沉积多个第二类型的吸收层原子。第一隔离源配置成隔离蒸发源与第一溅射源。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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