本发明涉及半导体技术领域的夹持装置，具体公开了一种旋转薄片盘状物夹持装置，包括旋转丝杠、竖直升降块、水平移动块、顶部固定块、卡爪和水平滑动轨道，其中，所述卡爪安装在所述水平移动块上，所述水平移动块安装在所述水平滑动轨道上，所述竖直升降块和顶部固定块安装在旋转丝杠上，所述水平滑动轨道安装在所述顶部固定块上。本发明利用刚性力和局部柔性力相结合的方式来克服高速旋转时卡爪产生的向心力和离心力对夹紧薄片盘状物状态的影响，保证卡爪能够以一个稳定理想范围的夹紧力夹紧薄片盘状物，不会造成高速旋转的薄片盘状物飞出或者被夹碎的现象出现。