本发明提供了一种制造太阳能电池的方法，其中太阳能电池通过组合损伤去除蚀刻工艺、结构化工艺以及边缘隔离工艺而被制造。本方法的优点在于进行RIE和DRE，然后同时进行DRE/PSG和/或边缘隔离去除工艺，以使得衬底（即，晶圆）的移动最小化，从而减小衬底的损伤率。