本发明涉及一种仪用高准确度二级串联闭环稳压气体发生装置。在本发明中，气源供给装置提供的压缩空气首先经过气体净化装置的作用，滤除水、油等杂质；后流经第一电/气伺服阀进入第一控制回路，得到0.8Mpa的稳定压力气体；再经过第二电/气伺服阀进入第二控制回路，得到人为设置压力大小的稳定压缩空气，范围在0.2Mpa～0.6Mpa之间。本发明可以实时检测储气罐中气体的压力大小，并通过闭环反馈将最终的气压波动控制在一个较小的阈值范围内，以期在流量较大的情况下为后续实验设备提供纯净、精密、稳定的气源。