一种用于纳米表面形貌在线测量的集成系统。该系统由集成光子芯片和测量探头两个主要部分组成，光子芯片由基于纳米线阵列的可调谐激光器、集成波导型光隔离器、基于表面等离子体的光耦合器和光探测器集成产生，而测量探头由准直透镜、光栅、物镜和参考镜组合而成。光子芯片和测量探头通过光纤连接。测量系统将具有尺寸小、结构紧凑、集成度高、整体性和灵活性良好等特点，对于实现纳米表面形貌在线测量具有很大的优势。