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一种氮在碳纳米尖端中掺杂的有效方法
编号:S000022758
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-04
浏览:
2465
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
合作研发
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明提供一种氮在碳纳米尖端中掺杂的有效方法,在Si衬底上沉积一层金膜作为催化剂层,以CH
4
、H
2
和N
2
为反应气体,在利用等离子体增强热丝化学气相沉积制备碳纳米尖端的过程中,将氮有效地掺入碳纳米尖端中;其中,金膜的厚度为5~30nm;反应气体中,CH
4
的浓度15~20%,H
2
的浓度50~65%,N
2
的浓度15~40%;衬底温度为800~900℃;反应室的工作压强为1500~3000Pa;偏压电流120~160mA;生长时间20~30分钟。本发明利用金催化剂层制备的碳纳米尖端为非晶碳纳米尖端,含氮量可达11%以上,有sp
3
C-N和sp
2
C-N成分。尤其是发现金催化剂颗粒位于碳纳米尖端的顶端,解决了碳纳米尖端顶端制备电极的困难,为它在发光二极管(LED)的应用奠定了基础。它将来可用作白光发光二极管(LED)、场电子发射器制备和光催化的候选材料。
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