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修复发光二极管芯片的方法
编号:S000022223 刷新日期: 有效日期至:2020-09-27 浏览:2448 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 湖南 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及一种修复发光二极管芯片的方法,包括以下步骤:步骤一:除去芯片上的二氧化硅保护层、电极和ITO层;步骤二:保证P型区完整的情况下,腐蚀N型GaN层;步骤三:在进行步骤二之后的芯片P型区上设置ITO层,并在N型区和P型区上分别设置电极,完成修复。在步骤二中,N型GaN层的腐蚀深度为150-250nm。本发明的方法能够除去扩散有Cr原子的N型GaN层,提高了修复后的芯片的品质。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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