本发明涉及半导体有源矩阵结构及其制造方法。使用可用于挠性基板的技术来制造高分辨率有源矩阵背板。在绝缘体上半导体基板上形成包括有源半导体器件的背板层。从基板剥脱该背板层。在背板层之上形成包括诸如LCD、OLED的无源器件、光敏材料或压电材料的前板层，以形成有源矩阵结构。有源矩阵结构可被制造，以允许底部发射并提供机械挠性。