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多功能水性环保可循环利用晶硅精密切割液
编号:S000021573
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-09
浏览:
1988
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种多功能水性环保可循环利用晶硅精密切割液。其包含式(I)所示结构的聚醚链烷醇胺梳状聚合物A、式(II)所示结构的环氧乙烷和环氧丙烷反向共聚聚醚B和式(III)所示结构的脂肪族环氧乙烷和环氧丙烷衍生物低泡表面活性剂C作为必需成分;与现有技术相比,本发明的切割液具有适用面广,润滑性能优异,分散效果好,低温中不结冰及可循环使用且起泡趋势低等特点,同时还具有较好的耐腐蚀性和对水与硅反应有良好的抑制作用;可应用于半导体单晶硅、多晶硅、蓝宝石、陶瓷、硬脆性材料等开方、精密切片加工工艺中。
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