一种掩模台垂直运动分量的测量装置属于半导体制造装备技术领域，主要涉及一种掩模台垂直运动分量的测量装置；该装置将掩模台配置在水平运动导轨上，并且在掩模台的上方配置四个激光三角位移传感器；通过四个激光三角位移传感器的位置坐标构成测量变换阵，利用该变换阵求解掩模台垂直运动分量；由于该装置采用了激光三角位移传感器，充分发挥了其测量位移的优势，因此装置结构简单，可根据被测面不同的表面特性选择不同类型的传感器，无需对被测表面进行镀膜等处理。