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基于微动元调制 GaN HEMT 沟道电流的红外探测器
编号:S000020623 刷新日期: 有效日期至:2020-09-26 浏览:2255 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明用于半导体光电子信息技术领域,具体涉及一种基于微动元调制GaN HEMT沟道电流的红外探测器。其特征在于:所述探测器的结构依次包括:GaN/AlGaN HEMT器件,微动元件,光波吸收辅助层,充气腔,衬底,吸收光波气体,窗口层;微动元件与HEMT沟道连接,充气腔内的吸收光波气体和光波吸收辅助层吸收光波后,发生形变,推动微动元件位移,微动元件的位移诱导GaN HEMT沟道电流变化,使光波信号转变成电信号被探测。本发明实现GaN基力-电耦合红外探测器的高灵敏性和高可靠性。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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