本发明涉及一种可控温的掠角反射红外光谱装置，包括掠角反射部分和温度控制部分，所述温度控制部分采用热台、半导体制冷片与冷却水块相结合的方式，可以使样品在-10度到300度的范围内进行匀速升降温。通过使用红外测温传感器作为测温器件，可以在不影响红外光光路的情况下对检测区域的样品进行温度测量，从而达到精确控温的目的，可以实现超薄样品在恒温及变温条件下的原位红外光谱检测。