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一种射频电感的封装结构及其封装方法
编号:S000021089 刷新日期: 有效日期至:2020-11-23 浏览:2399 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明一种射频电感的封装结构及其封装方法,属于半导体封装技术领域。其工艺过程:提供一金属载具(T100);在金属载具(T100)上设置光刻胶层Ⅰ(T210),在光刻胶层Ⅰ开口图形(T211)内采用电镀工艺形成金属线(100);采用同样工艺,在电感线圈(110)的内外端口分别设置金属柱(200);去除光刻胶塑封金属线(100)和金属柱(200);去除金属载具(T100),将金属线(100)和金属柱(200)的裸露面分别镀金属线圈保护层(310)和金属柱保护层(320);在金属柱保护层(320)上设置焊球(500),实现电感与载板之间的连接。本发明的射频电感无硅或无陶瓷作为基体,可以降低工艺难度和生产成本,提高Q值,减小电感尺寸,以有利于便携式设备的市场推广。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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