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电镀用阳极组件和电镀装置
编号:S000020994 刷新日期: 有效日期至:2021-01-02 浏览:2502 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种电镀用阳极组件和电镀装置。所述电镀用阳极组件包括:阳极面板;支撑杆,一端固定在阳极面板的中间区域;多个支撑线,所述支撑线的第一端固定在阳极面板的边缘区域,第二端固定在支撑杆上;通过调节支撑线的长度使所述阳极面板处于弯曲状态。本发明可以在半导体晶圆的中央区域及周围区域形成均匀的金属层或薄膜,最终改善电镀的质量。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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