一种掩模台垂直运动分量的测量方法属于半导体制造装备技术领域；该方法通过四个激光三角位移传感器的位置坐标构成测量变换阵，利用该变换阵求解掩模台垂直运动分量；由于该方法使用四组独立的位移信息，经过测量模型解算，能够精确地得到掩模台的垂直运动分量，因此测量精度高、测量范围大、直观、易于实现。