本发明公开了一种MEMS光学干涉平台，所述MEMS光学干涉平台包括硅片基座、第二镜体、第一镜体、驱动臂以及阻挡件，其中，所述硅片基座上开设有对准槽，所述对准槽中放置有所述阻挡件；所述硅片基座的一侧通过第一组驱动臂连接有第二镜体，相邻一侧通过第二组驱动臂连接有第一镜体。将第一镜体、第二镜体与阻挡件放置在同一个硅片基座上，形成一个光学干涉平台模块，降低干涉仪的组装难度；第一镜体与第二镜体均采用体积较小的MEMS微镜，构成的干涉平台体积也会比较小，且成本低；利用半导体加工工艺，可以更加准确对齐，减小组装误差；可通过控制驱动臂的工艺参数控制MEMS动镜的移动范围和速度；该微型干涉模块可广泛用于各种光学系统。