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显示装置或半导体装置用Al合金膜、具备Al合金膜的显示装置或半导体装置、以及溅射靶
编号:S000019496 刷新日期: 有效日期至:2020-10-06 浏览:2442 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供一种高温耐热性优良,膜自身的电阻(配线电阻)也低,且碱环境下的耐蚀性也优良的显示装置用Al合金膜。本发明涉及一种Al合金膜,其含有Ge(0.01~2.0原子%)和X组元素(Ta、Ti、Zr、Hf、W、Cr、Nb、Mo、Ir、Pt、Re及/或Os),且对进行450~600℃的加热处理时的含有Al、X组元素及Ge的析出物中的当量圆直径为50nm以上的析出物的密度进行控制。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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