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显示装置或半导体装置用Al合金膜、具备Al合金膜的显示装置或半导体装置、以及溅射靶
编号:S000019496
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-06
浏览:
2442
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明提供一种高温耐热性优良,膜自身的电阻(配线电阻)也低,且碱环境下的耐蚀性也优良的显示装置用Al合金膜。本发明涉及一种Al合金膜,其含有Ge(0.01~2.0原子%)和X组元素(Ta、Ti、Zr、Hf、W、Cr、Nb、Mo、Ir、Pt、Re及/或Os),且对进行450~600℃的加热处理时的含有Al、X组元素及Ge的析出物中的当量圆直径为50nm以上的析出物的密度进行控制。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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