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半导体装置的制造方法
编号:S000018265 刷新日期: 有效日期至:2020-11-15 浏览:2427 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供一种半导体装置的制造方法,其能够防止利用激光修调被熔断的导电性熔丝因在镀覆工序中的镀覆电极而重新接合,并且防止镀覆液等进入熔丝熔断部。由多层配线构造形成的半导体基板(1)在修调元件形成区域(70)具有利用激光修调将导电性熔丝(10)熔断而形成的熔丝熔断槽(10a)。在半导体基板(1)上形成覆盖修调元素形成区域(70)的第二保护层(11)之后,在由最上层金属配线构成的外部引出焊盘电极(7)上形成镀覆电极(12)。之后,在镀覆电极(12)上形成具有开口且覆盖在包含第二保护层(11)上的半导体基板(1)上的第三保护层(13)。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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