一种无污水和固体废物排放的晶体硅加工废砂浆综合处理技术，在回收废砂浆切割液PEG之前，首先磁选回收废砂浆中的Fe粉，干燥后作为粉末冶金的原料；除铁后的三元废砂浆压滤，得到含SiC、Si的为主的滤饼和含切割液PEG为主的滤液；滤液经过精制处理得到合格的切割液PEG；滤饼在干燥脱水后，利用其中残余的3～5的PEG压制成陶瓷毛坯，在氮化炉中氮化烧结成氮化硅结合碳化硅陶瓷材料；滤饼干燥后的含SiC、Si的二元砂通过碳化或氮化处理，使其中的Si粉转化成纳米SiC或纳米Si₃N₄；洗涤分离SiC、Si的二元砂反应产物，分别得到微米级SiC和纳米SiC或纳米Si₃N₄；整个生产过程无工艺废水和固体废弃物排放。