本发明提出一种并行化仿真多线程管理方法，包括以下步骤：将所有通讯方式实例为通讯对象分别用一个线程承载；对所述所有通讯对象的接收和发送方法进行多线程管理；将所有设备类实例为设备对象；对所述设备对象命令的解析，动作的执行，条件的判断进行多线程管理；将所有子系统类实例为子系统对象；和对所述子系统对象包括的所述设备对象之间的逻辑关系进行多线程管理。通过该方法能够解决半导体制造装备控制软件测试的效率和准确定位系统所存在问题，同事，该装置能够决集成电路工艺设备的工艺稳定性，工艺可靠性，减少设备维修时间，最大程度的提高设备的利用率。