本发明提出一种用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法，包括：对以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口进行统一的接口设置，并配置每个仿真通道与实际物理通道的对应关系；对所述以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口进行初始化；接收所述以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口中一个或多个发送的数据，并对其进行转化。本发明通用性强，配置简单，易于与其他模块集成与分离的特点，而且克服了不同通信模式传输数据格式的归一化问题。并且，对于本发明的仿真系统开启多个设备同时运行的情况，系统运行良好。