本发明公开了一种物理法回收硅片切割废砂浆中的切割液、晶硅粉和碳化硅微粉的方法，包括以下步骤：A1、将废硅片切割液用去离子水稀释至含水量50％，搅拌均匀，进行固液分离；A2、将步骤A1分离下来的固体物料按照溢流罐实际装填量装入溢流罐，稀释至含水量50％，同时启动超声波换能器机组、搅拌装置；充分搅拌均匀后停止搅拌，超声波换能器机组继续运行直到把所有晶硅粉溢流完毕方可停机；超声波换能器机组运行过程中，打开溢流罐进水阀，进行溢流；A3、溢流罐1中沉淀下来的碳化硅微粉进入甩干机，进入闪蒸式干燥机烘干，再经过超声波振动筛将大颗粒筛掉，包装后即可得到成品碳化硅微粉。加工、操作、控制、使用的简便，环境污染的治理或根治。