本发明公开一种工业废水组合预处理方法，包括以下步骤：1）在窄脉冲高压电源作用下在臭氧发生管产生臭氧；2）废水和所述产生的臭氧进行文丘里混合；3）混合后的臭氧混合水和所述产生的臭氧再经过溶气混合泵进行第二次混合；4）经过第二次混合得到的臭氧混合水到超声波发生器里进行超声波处理5)经过超声波处理的废水再进入光解反应器进行光解反应；6）光解反应后再进行臭氧催化和电氧化反应，所述臭氧催化和电氧化反应在一催化器里进行且所述催化器的两侧设有电极。本发明可有效去除水中的有害物质，是一种高效、经济的废水处理方法。