本发明涉及一种有效将处理水中的硅油回收利用，有效提高回收效率，同时处理后的废水可达到饮用级标准的高精度除硅设备。包括机架、以及设置在机架内的真空蒸馏罐、导流冷凝机构、冷却罐机构和硅油回收装置，其中：真空蒸馏罐的顶部连接导流冷凝机构、并在底部设置有排水阀；导流冷凝机构包括硅油导流管以及设置在硅油导流管外侧的第一冷却装置，硅油导流管的进口端和出口端分别与真空蒸馏罐和冷却罐机构相通；冷却罐机构包括硅油冷却罐以及设置在硅油冷却罐外侧的第二冷却装置；硅油回收装置包括与冷却罐机构相通的硅油箱。