本发明涉及一种多晶硅电池生产废水的处理方法，包括以下步骤：分源处理、沉淀处理、三效蒸发处理、再沉淀处理、过滤处理、反渗透处理。本发明中对浓氮、稀氮、含磷废水分别进行收集，采取不同的处理方法，提高了除氮、除磷的效率，降低了处理成本；另一方面，对多晶硅电池生产废水进行过滤和反渗透处理后回收利用，节约了水资源，有利于保护环境。