本发明属于废水处理技术领域，特别涉及一种紫外光臭氧反应工艺及其装置；一种紫外光臭氧反应工艺，它包括以下方法步骤：（a）预处理、（b）气液混合、（c）UV反应、（d）活性炭过滤、（e）生物滤塔过滤、（f）出水。本发明通过纳米气泡泵，使废水与纳米气泡泵内的臭氧及空气充分混合，产生无数个直径为10微米~50微米的微气泡，这些微气泡性能稳定、气液混合比大，不易相互聚合成大气泡而导致破裂，气液接触面积比常规的曝气器等大几百倍，因此反应速度为常规的曝气器等的几百倍；废水中残余的臭氧经过活性炭过滤，无需进行尾气处理。本发明的臭氧利用率高，反应速度快，产水澄清，处理效果好。