一种表面处理湿制程清洗液循环利用方法，包括如下步骤：利用碳纤维过滤器及臭氧产生器对待处理清洗液进行预先处理，去除其中的杂质及羟基有机物；利用奈米分子级逆渗透膜进行逆渗透处理，形成含高钠离子的浓缩液以及低钠离子的渗透液；利用后级处理单元进行后级处理，吸附阴离子及阳离子，产生具去离子水等级的再生去离子水，以供再利用；利用浓缩液储存槽以储存浓缩液，并利用双极电透析单元进行电解液透析处理，产生透析水，并回送至奈米分子级逆渗透膜。因此，本发明的方法可提高表面处理湿制程中水资源的循环再利用，进而达到减废及零排放的目的。