本发明涉及有机硅生产废水处理，为克服现有技术生化处理阶段的局限性，提供了一种多个物化处理系统综合联用的工艺。本发明通过对废水的调节池预处理、第一次微滤旋转膜过滤、第一次紫外线照射、第一次内电解、第二次微滤旋转膜过滤、第二次紫外线照射、第二次内电解、第三次微滤旋转膜过滤、活性炭吸附、碳石纤维聚合粒料吸附和超滤反渗透过滤，使出水达到国家一级排放标准，甚至更为严格的地方标准。本发明在行业内首次应用或创新性应用了若干新工艺新设备，用事实验证了工艺的科学性和可行性，为国内有机硅行业废水的处理提供一条崭新的解决思路和途径。